Inficon MPG400反磁控(冷阴极)皮拉尼真空计 351-010
Inficon 反磁控皮拉尼真空计, MPG400 测量范围从 5 x 10-9 毫巴至大气压 (3.8 x 10-9 乇至大气压). 将两种技术复合在带有对数模拟输出的简单小型规管中, 大大地降低安装, 设置和集成的复杂性.
优势:
复合真空计—反磁控和皮拉尼
宽的测量范围从 5 x 10-9 毫巴至大气压
无可烧毁的灯丝
点燃特性
易清洗
FPM 或金属密封的馈入件
LED 指示灯用于高电压 on
对数模拟输出讯号
应用:
高真空压强监测
蒸发和溅射系统的基本压强
中高真空范围的一般真空测量和控制
技术规格
型号 | MPG400 | MPG401 |
测量范围 | 5 × 10E-9至1000 mabr | |
精度(N2) 10E-8至100 mbar |
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重复性 | ≈±5%读数 | |
输出信号(电压) |
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电源电压 | +15至+30Vdc | |
电气连接件 |
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工作温度 | +5至+55℃ | |
安装方位 | 任何 | |
防护等级 | IP40 |
订购资料
MPG400 FPM密封 KF25 351-010