GYA-4HC型高纯材料的生产用氩气净化机
GYA-4HC型氩气净化机主要用于电子、半导体、高纯材料、原子能、锂电池等行业的生产和封装用气。
净化原理
该系列净化机是利用催化剂与氧气反应生成金属氧化物的原理除去氩气中的杂质氧气,再利用吸附剂吸附脱除氩气中的H2O、CO2等杂质,从而得到高纯氩气的。
GYA-4HC型氩气净化机技术参数
对原料氩气的要求
一般瓶装纯氩,液氩、控制较好的管道氩气。
杂质要求: O2≤500PPm, H2O≤1000PPm。
输出纯气
纯度:99.9999%
杂质含量:
O2≤0.1PPm,
H2O≤0.5PPm(即露点≤-
CO+CO2≤0.1PPm,
尘埃粒子数(≥0.3μm)3-5个/升。
工作压力:0.4-1.5MPa。
处理气量:4NM3/h(其他流量需要定制)。
GYA-4HC型氩气净化机设备特点
除氧催化剂活性高,工作温度低,设备更节能。阀门全为不锈钢波纹管阀门,几乎无泄漏,故设备更可靠。本机为双式结构,一组工作,另一组再生备用,故能*连续供气,一台能顶两台单 式净化机使用。本机可再生反复使用,设备寿命长,平均使用寿命大于10年。
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