滑竿式迷你PECVD系统

滑竿式迷你PECVD系统

产品描述：

该炉由_{TL1200真空管式炉}、石英真空室、射频电源、_{GX供气系统}、_抽气系统、真空测量系统组成。

滑竿式迷你PECVD系统在传统PECVD系统基础上实现了快速加热、冷却功能，该炉底部安装了一对滑轨，可手动滑动。采用双层壳体结构，射频电源信号频率13.56MHZ±0.005%。该炉安装有行程开关，当炉盖打开时会自动切断电源。加热和冷却速率可达100°C/min。为取得加热，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品位置。为获得冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/S，是低成本快速热处理的理想炉。

技术参数：

1.额定温度：1100℃                     2.温度：1200℃                         3.电压：220V

4.加热段：205mm+205mm                  5.温控方式：智能化30段可编程控制           6.热电偶：K型        

7.加热元件：瑞典Kanthal-A1电阻丝

8.升温速率：≤30℃/min    推荐升温速率：≤15℃/min       

9.等离子射频电源：输出功率：50-500w可调±1% 稳定性

频率：13.56MHz ±0.005%

噪声：<50dB

冷却：空气冷却

输入功率：AC 220V，500W       

10真空泵和阀门：采用KF25系列波纹管和精密球阀连接

真空度可达10-3Pa

数字真空压力表可直观的显示数值

11.质量流量计：内部装有高精度数字显示质量流量训科准确的控制气体流量

气体流量范围为0-200sccm，误差：0.02%

一个气体搅拌罐上安装了液体释放阀的底部情况

不锈钢针阀安装在左侧可手动控制混合气体输入的数量

进气口：采用国际标准双卡套接头