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三温区PECVD系统

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公司名称天津天有利科技有限公司
品牌
型号
所在地天津市
厂商性质其他
更新时间2022/8/7 15:46:34
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公司介绍主营产品

天津天有利科技有限公司是集研制、开发、生产制造、为一体的企业，致力于电加热技术、温度自动控制和净化技术的研究与开发。本公司专业生产各种实验电炉、高低温实验箱、电热恒温实验箱、恒温水浴锅、恒温水箱、净化工作台。公司坚持质量至上，诚信为本的经营理念。各系列产品进入全国各地的大专院校、科研院所、医疗、医药、农业、化工、食品工业、环境保护、工矿企业的实验室、化验室及检测中心。公司产品规格齐全、质量稳定可靠、外型美观、价格合理、交货及时、服务周到。对产品实行三包并提供可靠的售后服务。公司承接大型的高低温烘箱及非标准产品的加工制作，并为客户提供技术咨询。为了更好的为广大客户服务，本公司还专门设立了仪器事业部，专业销售各种实验仪器设备. 真诚欢迎各界朋友光临，真诚期待与您的合作。

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三温区PECVD系统

三温区PECVD系统产品信息

　　　　　　　　　　　　　　　　三温区PECVD系统

产品描述：

该炉由_{TL1200真空管式炉}、石英真空室、射频电源、_{GX供气系统}、_抽气系统、真空测量系统组成。采用双层壳体结构，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，抽真空时真空度能够达到10^-3Pa。该炉安装有行程开关，当炉盖打开时会自动切断电源。该炉通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高所需的温度更低。