OTF-1200X- S50- 2F 1200℃微型二通道混气CVD系统

高温炉

壳体

• 采用双层壳体
• 炉膛采用多晶氧化铝纤维，减小能量损失
• 内炉膛表面涂有1750℃美国进口的高温氧化铝涂层材料提高反射率及设备的加热效率和炉膛洁净度，同时延长仪器的使用寿命

功率

1.75KW

电压

AC -220V

温度

• 工作温度：1200℃（< 1hr）
• 连续工作温度1100 ℃
• 升温速率 <= 10C/min

炉管

石英管50 x 43 x 450mm (O.D x I.D x Length)

加热区

• 加热区长度: 8" (200mm)
• 恒温区长度: 2.3" (60mm) (+/-1°C) @ 900 °C

温控系统

• PID30段程序化控温
• 控温精度: +/- 1℃

加热元件

掺钼铁鉻铝（表面涂有氧化锆涂层，使其延长仪器使用寿命）

两路混气系统

• 两个浮子流量计量程为16 —100mL/min
• -0.1-0.15 MPa, (0.01 MPa/grit)
• 三个机械压力表：-0.1-0.15 MP
• 混气箱上安装有一不锈钢针阀
• 后端装有φ6.35卡套接头，无需通电
• 外型尺寸: 340Lx300Dx 180H, mm ( 13.4"x12"x7").
• 净重: 14 lbs.

真空法兰和配件

标准真空配件:

• 一个数字式真空显示计
• 一个φ6.35的卡套接头
• 两个KF25转接头
• 一个600mm的不锈钢波纹管
• 可选法兰：本公司生产的带铰链式法兰
• 可选：本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换
  

真空泵

• 规格: 2XZ-2双旋真空泵
• 抽气速率:120 liter/m
• 功率:1/2HP 375W
• 油箱容积: 1000ml

产品净重

100 lbs

产品尺寸

• 炉体:340 x 300 x 400mm
• 真空泵:440 x 160 x 300mm
• 混气系统: 340 x 300 x 180mm

运输重量

200lbs

质保期

一年质保期（不包括炉管、硅胶O型圈和加热元件等损耗件）

质量认证

CE certified