GSL-1100X-SPC12是一款紧凑型等离子薄膜溅射仪,专门设计为基地镀上金属膜,如金,铂,铟和银等。可放置样品尺寸直径为40mm,膜厚可达300埃,特别适用于为SEM样品镀上金而作为导电极。
技术参数
输入电源 |
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等离子腔体
| 石英腔体尺寸: 100 mm Dia. x 130mm H
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载样台 |
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进气口 | 一个阀安装在仪器内部,可以往腔体中通入各种气体 |
靶材尺寸 |
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外型尺寸 | L480mmx W320mm x H150mm |
净重 | 20 kg |
质保期 | 一年质保期,终身维护 |
质量认证 | certified |