EQ-RTP1000-LV3C 是一款 4" RTP (快速热处理) 管式炉。配有三路流量计和一个机械泵（真空度达 10-3 torr ）。他专为半导体基片和太阳能电池或其他样品（尺寸可达 3" ）退火而设计。 这款设备是采用 9KW的红外灯加热，升温速度是 100oC/秒. 30 段精确温度控制，精度是 +/-1oC.。RS485 接口和控制软件可以通过计算机控制炉子运行并显示温度曲线。安装在移动架里的三路气体控制和真空泵跟RTP 炉体相连接。
技术参数
| 关于RTP 炉子 | - 炉体结构: 双层Al2O3纤维钢构，无需水冷或风冷,内炉膛表面涂有美国进口的1750度高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命
- 加热元件: 8 根红外灯管 (D=10 L=300 T =200, mm)
- 加热区: 4"X12" length （ +/-5oC ）
- 石英管: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length
- 真空法兰: 不锈钢制作，带有水冷接口和针阀，双层高温”O“型圈密封。 长时间在 > 900oC 条件下运行必须采用水冷
- 循环水流量: 0.5 m3 /hr
- 温控仪: 通过可控硅（SCR) PID 自动控制
- 带自整定功能的30 程序精确控制
- 具有过热保护和断偶保护功能
- 控温精度: +/- 0.5oC
- RS485 接口可与电脑连接
- 包含软件(要求Window XP/7 系统)
- 升温速度: 室温~800℃： 50 oC/sec ，800℃~1000℃ 10oC/sec
- 工作温度: 1100oC
- 功率: 208-240 AC, 50/60 Hz 单相, 9 KW Max. (> 60A 保险)
- 尺寸: 760 X 330 X 530 mm (30"W x 13"L x 21" H)
- 重量: 45 kg (100 lbs)
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| 结构 | | 可滑动的石英样品架, 可放 3" 基片 | 炉子可以以 100 oC/second升温到1000oC, 打开上盖可快速降温 | 滑动法兰使得装载样品很容易 | | 控温软件 |
| 温控软件的主界面 | |
| 可选 | 本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。
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| 关于真空泵和气体流量计 | - 3个气体流量计 (量程40-400 cc/min ， 精度4% FS) 安装在移动架底部,显示每路气体的流量。
- 高速真空泵2TW-4C-220v（真空度可达f 10-2 torr）. 通过橡胶管与RTP炉子相连.
- 4个不锈钢针阀（移动架的侧面）分别控制3路进气和一路混合气。
- 4个压力表（移动架的正面）分别显示每路气体和混气的压力。
- 尺寸: 600 mm (L) x 600 mm (W) x 597 mm ( H)
- 重量: 210 lbs
- 保修期: 一年质保期(耗材：如炉管,“O"型圈 和红外灯等不在保修范围内）
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