Brooks Instrument GF100 系列金属密封热质量流量控制器和仪表

特点

• 长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 ± 0.5%

• 稳定时间：700 ms - <1 秒

• 满量程流速高达 300 slpm

• 全金属密封流路：可选择采用 4µ 或 10µ 英寸 Ra 表面处理的流路

• 耐腐蚀 Hastelloy® T-Rise 传感器可提升高温下测量结果的可重现性

• MultiFlo™ 气体和量程设定功能 — 一台设备即可满足数千种气体类型和各种量程组合的需求，无需从气路上拆除 MFC 并且不影响精度

• 本地显示屏

• 可选 SDS 气体输送

• DeviceNet™、RS-485 L-协议和模拟接口

优势

• 按照半导体行业标准对高性能组件进行七次连续测试以确保其可靠性

• 表面积和未吹扫体积更小的全金属耐腐蚀流路可确保流路在吹扫步骤更快干燥

• MultiFlo™ 技术可在 60 秒内完成新过程气体和/或量程的设定操作 – 不再需要拆除并校准 MFC

• 高度可配置平台可使大部分品牌的金属密封 MFC 实现插入式更换和升级，适用范围包括早期的 Celerity、Mykrolis、Tylan 和 UNIT 品牌产品

• GF120 安全输送系统 (SDS®) 是布鲁克斯仪器公司的低压损质量流量控制器，适用于输送注入和势垒层腐蚀过程中使用的次大气压安全输送系统 (SDS) 气体

• 便捷的用户显示屏和独立的诊断/维护端口有助于设备安装、监测和故障排除

应用

• 半导体蚀刻工具

• 薄膜化学气相沉积系统（CVD、MOCVD、PECVD、ALD）

• 物理气相沉积 (PVD) 系统

• 外延工艺系统