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残余气体分析仪应用于角分辨光电子能谱仪 XPS

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公司名称伯东企业（上海）有限公司
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厂商性质其他
更新时间2023/7/14 8:54:33
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公司介绍主营产品

伯东公司成立于1953 年，范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司()主要从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作，集团年营业额约为100亿人民币。伯东公司在国内主要城市：北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门设有营业据点。上海伯东真空产品事业部秉承为广大中国客户提供的真空产品、推动中国真空工艺发展、承担企业社会责任为经营理念，已累计为超过10,000家企业提供真空服务，覆盖工业、半导体、镀膜、科研和分析行业。上海伯东代理品牌包含：德国Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 离子源、美国Brooks Polycold 制冷机，美国HVA 真空阀门，美国 inTEST(Temptronic)高速温度循环测试机，离子蚀刻机，真空镀膜系统及配套真空零配件等。上海伯东作为国际真空品牌代理商，全权负责在中国地区的销售和维修服务，99% 使用原厂进口零部件以及国外受训维修工程师；拥有的拆解，维修，校正能力并提供24小时在线服务。

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残余气体分析仪应用于角分辨光电子能谱仪 XPS

残余气体分析仪应用于角分辨光电子能谱仪 XPS 产品信息

上海伯东德国 Pfeiffer 残气质谱仪 RGA 应用于角分辨光电子能谱仪 XPS
光电子能谱仪（photoelectron spectrograph）利用光电效应测出光电子的动能及其数量的关系，由此来判断样品表面各种元素含量，并可分析固、液、气样品中除氢以外的一切元素。
角分辨 XPS 应用于各种固体材料表面（界面）的元素及化学态的定性、半定量、结构分析及化学

键研究。
使用上海伯东德国Pfeiffer残气分析质谱 QMG，对XPS系统的分析室残余气体进行定性和半定量分析，并针对残余气体进行除气措施，从而达到清洁样品表面，减少空气分子与标的电子的碰撞，最终得到金属材料表面的元素及结构分析信息。
上海伯东客户案例：上海某大学
角分辨光电子能谱仪+Pfeiffer残余气体分析质谱应用试验条件：
金属样品厚度：2nm
主真空室：1×10^-10 Torr
分辨率：0.8cV
电子枪束斑：75nm
灵敏度：80KCPS
信噪比：大于70:1
角分辨：5°～90°
灵敏度：255 KCPS A1/Mg双阳极靶
能量分辨率：0.3% 位置灵敏检测器（PSD）
角分辨光电子能谱仪配套上海伯东德国 Pfeiffer QMG 质谱分析仪配置:
1.测量范围:1-300amu
2.检测方式:Faraday/C-SEM
3.加热温度:1-200℃
4.离子源:开放式离子源
Pfeiffer 质谱分析仪
Pfeiffer 残余气体质谱分析仪与友厂同级别质谱分析仪相比，更适用于移动应用，并且提供高解析度和灵敏度，可对气体进行定性和定量分析，应用范围广泛，从大气压力到高真空均可使用。