简介:
滑轨式管式炉一体化结构设计,用于1100℃以下快速升温快速降温的特殊工艺要求,通过移
动炉体实现快速冷却的目的。同时也可以预先设定温度,然后移动到样品处,达到快速升温的效
果。适合用于广泛的RTP工艺及CVD石墨烯工艺。
- 工作温度RT-1000℃;
- 日本进口智能程序控温仪控制精准,可编辑、储存并调用多段程序;
- 炉壳结构,双层炉壳风冷结构;
- 不锈钢双层密封法兰,进、出气阀采用美标针阀;
- 两端可调式法兰支撑结构,延长石英管使用寿命;
- LED高强度、抗破坏、全不锈钢按钮,经久耐用;
- 超温保护功能,当温度超过允许设定值自动断电;
- 安全保护当炉体漏电时自动断电。
技术参数:
设备型号 温度 管径 加热区 温度数 热偶 电压 功率 FGL(RTP)-40/11/1 1100℃ 40mm 320mm 1个 K型 220V 3.0kw FGL(RTP)-50/11/1 1100℃ 50mm 320mm 1个 K型 220V FGL(RTP)-60/11/1 1100℃ 60mm 320mm 1个 K型 220V FGL(RTP)-70/11/1 1100℃ 70mm 320mm 1个 K型 220V FGL(RTP)-80/11/1 1100℃ 80mm 320mm 1个 K型 220V