简 介:
原位高温光/电学测试装置(HTC-PERAIR-400)是一款为器件在真空加热条件下测试电输运而设计的专用原位设备。该款设备主要包含了水冷系统、温控系统、真空反应腔体以及光学窗口。其中真空反应腔体上配置了加热台、电子输运专用接头、真空接头和电极接线等配置,能够保证在加热过程中,连接器件进行电子输运。反应腔体温度可调,调节范围为室温到400℃,控温精度±1℃。反应腔体上部配备了光学窗口,可对器件进行直接观察,或进行显微观察等,为器件在真空高温条件下的电子输运研究提供了便利。
主要特点
1. 该装置能够实现器件或其他材料在真空条件下的加热功能,其中样品尺寸大小可为10*10*1或10*10*2mm的方形片;
2. 加热腔体的温度调节范围为:室温-400℃,温度控制精度:±1℃,通过配备的温控仪来实现上述控温操作;
3. 主体加热腔室的透射窗口尺寸为φ30mm,在装置顶部位置;
4. 主体加热腔室能够配备了真空接头,能够实现装置的真空处理(机械泵的真空处理),并保证整个气体腔室密封性良好,不漏气(不可承压);
5. 主体腔室外壳层设有水冷装置,并配备水冷循环机保证整体外表面的温度低于60℃;
6. 主体加热腔体还配备了四套电子输运专用接头,具备电子屏蔽功能,能够实现器件电子输运测试过程中的电子输运功能;
7. 本设备由水冷系统、温控系统、真空反应腔体以及光学窗口等多个主体部分组成。