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氦质谱检漏仪在杜瓦瓶(焊接绝热气瓶)检漏应用

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公司名称伯东企业（上海）有限公司深圳办事处
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厂商性质其他
更新时间2023/9/2 12:23:36
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伯东公司成立于1953 年，范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司()主要从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作，集团年营业额约为100亿人民币。伯东公司在国内主要城市：北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门设有营业据点。上海伯东真空产品事业部秉承为广大中国客户提供的真空产品、推动中国真空工艺发展、承担企业社会责任为经营理念，已累计为超过10,000家企业提供真空服务，覆盖工业、半导体、镀膜、科研和分析行业。上海伯东代理品牌包含：德国Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 离子源、美国Brooks Polycold 制冷机，美国HVA 真空阀门，美国 inTEST(Temptronic)高速温度循环测试机，离子蚀刻机，真空镀膜系统及配套真空零配件等。上海伯东作为国际真空品牌代理商，全权负责在中国地区的销售和维修服务，99% 使用原厂进口零部件以及国外受训维修工程师；拥有的拆解，维修，校正能力并提供24小时在线服务。

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氦质谱检漏仪在杜瓦瓶(焊接绝热气瓶)检漏应用

氦质谱检漏仪在杜瓦瓶(焊接绝热气瓶)检漏应用产品信息

应用十二、氦质谱检漏仪在杜瓦瓶(焊接绝热气瓶)检漏应用

一、杜瓦瓶(Devar Vessel)检漏原因
焊接绝热气瓶 (Welded Insulated Cylinder) 俗称杜瓦瓶(Devar Vessel)，是液化天然气、液态氧气、车载天然气、低温液体的主要存储装置，广泛应用于液化气体生产、存储、运输、使用等领域，对于气瓶的密封性尤为重要，任何的泄露都可能导致气体的损失，如果承载的是天然气或者可燃性气体，很有可能产生爆炸的危险，所以对于杜瓦瓶(Devar Vessel)的检漏非常必要。

二、杜瓦瓶(Devar Vessel)检漏方法
Pfeiffer HLT550 氦质谱检漏仪提供两种检漏模式, 真空模式(vacuum mode) 及正压模式 (sniffer mode), 杜瓦瓶(Devar Vessel)多采用氦质谱检漏仪的负压模式即真空模式检漏，将氦质谱检漏仪与真空系统连接，由于HLT550不带有前级泵，所以可以使用现场使用的抽真空系统作为氦质谱检漏仪的前级泵，连接在进气口附近（也就是真空泵组的进气口处），真空系统都会有泵组在抽真空，所以在泵的进气口处连接检漏仪是在气流的运动方向上，很容易有一部分分压分给检漏仪,从而达到检漏的效果。

如图：

三、杜瓦瓶(Devar Vessel)用氦质谱检漏仪检漏形式说明
使用检漏仪真空模式检测真空焊接炉是业界所采用的泛的检测方法, 杜瓦瓶(Devar Vessel)使用真空系统抽真空，检漏仪连接在真空泵组进气气端，由于气流都会走向真空系统，如果喷氦气有漏点的话，都会经过检漏仪抽气口，氦质谱检漏仪检测到氦气后就可以在漏率上有一个变化，从而达到测量效果。

四、氦质谱检漏仪其它应用
一般真空相关设备应用如溅镀 (suppering system)机台, 蒸镀机台 (evaporator) 检漏, 低温容器,高压真空开关, 高压容器, 电子零件如震荡器 (oscillator) 等等均可应用德国Pfeiffer氦质谱检漏仪来进行检漏。