Kanomax超小型粒子计数器3950
粒子计数器:
★性的技术革新，致轻、致小、实现了嵌入组装在半导体制造等装置中
★2.83L/min，同时测试0.1 0.3微米微小粒子
★4.3英寸彩色触摸屏显示屏
★可使用附带软件在PC上显示测试数据
★设有RS－485，Ethernet USB通讯接口
粒子测量 | |
测试方法 | 光散射法 |
粒径通道 | 2粒径（0.1 、0.3μm) |
额定流量 | 0.1 CFM (2.83υ分）、精度士5%、（符合JIS 89921 和IS021501-4) |
测量时间 | 锦l>-99分59秒（ 1 次测量时间） |
间隔时间 | 伺机99分59秒（测量周期） |
采样次数 | 1-999次或连续测试 |
地点设定 | 99个地点 |
测量方式 | 重复、单次、连续、计算、ISO，GB* （共6种模式） |
测量数据显示时间 | 1—10秒 |
测量数据显示 | 累计值∑ 差分值△及柱形图 |
可测浓度 | 10,000,000个/m3 |
读数效率 | 50±20% （相对于最小可测粒径附近的PSL粒子） 100±10% （相对于最小可测粒径的1.5倍――2倍的PSL粒子） （符合JIS B9921和ISO21501－4） |
伪读数 | ＜1个/35min |
粒径分辨率 | 15%以下（相对0.3μm的PSL粒子） （符合JIS B9921和ISO21501－4） |
气源 | 内置泵 |
显示器 | 4.3英寸彩色液晶触摸屏 |
通讯功能 | |
本体 | USB（Host用于打印机、USB存储；Device用于与PC链接） Ethernet、RS485（9600、19200、38400 baud） |
数据存储 | |
媒体 | 内存 |
数量、格式 | 10,000个、CSV格式 |
显示语言 | 英文、日语 |
电源 | AC100—240V |
使用环境（本体） | |
温度 | 15—35℃ |
湿度 | 0-85%RH（无结露 |
外形尺寸 | W150 mm×H163 mm×D228mm |
重量 | 3.4Kg |
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