- 使用螺旋流加热方法实现稳定的低温汽化
- 大流量汽化(增加稳定性数据)
- 可汽化易热解的液体源
MV-2000 系列混合注入系统液体汽化器
MV-2000 系列采用新的螺旋流加热方法,即使在低温下也能实现稳定汽化。适用于包含 “High-k”工艺液体在内的一系列液体源的汽化。
特 征:
Model MV-2000 Liquid Material All liquids except those corrosive to stainless steel(ex. HCl, HF) Setting Temperature By vaporization conditions(Control Valve : Max 140 ˚C Vaporizer : Max 200 ˚C) Leak Integrity ≤ 1 × 10-8 Pa·m3 /s (He) Internal leak standard ≤ 1 × 10-6 Pa·m3 /s (He) Wetted parts SUS316L , PFA Temperature Sensor Thermocouple type K (CA) Pressure Resistance 1MPa (G) Standard Fitting Liquid inlet: 1/8 VCR type Male Carrier gas inlet: 1/4 VCR type Female Gas outlet: 1/2 VCR type Male Operating Temperature 15 - 50 ˚C Option Air valve(Internal leak standard: ≤ 1×10-9 Pa · m3 / s(He) )
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