防爆FFU是风机和过滤器的组合,也可以称为“自带风机的过滤设备”。FFU通常安装在洁净室的送风末端,一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。防爆FFU是普通FFU的升级款,更有效更高效更安全。
FFU是自带动力的,它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里,可根据需要,分区控制。而且,随着半导体生产工艺的变化,厂房布局必然要作相应调整,FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松,而且不会带来二次投资。
为不同尺寸大小,不同洁净度等级的洁净室、微环境提供高质质量的洁净空气,在新建洁净室、洁净厂房式改造翻新中既可提高洁净度级别,降低操音和振动,也可大大降低造价安装维护方便,洁净环境的理想部件。