螺杆干式真空泵是通过泵腔内一对作等速反向旋转螺杆的啮合作用，完成从吸入气体、压缩气体到排出气体而形成高真空过程。即两个旋向相反的非接触螺杆型转子在泵腔内做等速反向旋转。当螺杆旋转时，在螺杆真空泵的进口处吸入一定体积量的气体，气体被压缩并输送到真空泵的排出口处被排出。由于泵的二个螺杆之间以及螺杆与泵腔之间均无接触，泵腔内不需要润滑油。用于润滑齿轮和轴封的润滑油通过轴封与泵腔密封。泵的冷却可以通过循环冷却水直接冷却或者通过带有风扇及散热器的冷却装置进行冷却。
螺杆转子采用多段变螺距结构设计，极限真空可达1Pa以下，可以满足从大气到高真空的各类真空处理
- 1.螺杆转子采用高强度球墨铸铁一体铸造并采用进口五轴联动设备加工，具有很高的机械精度和稳定的机械性能。
- 2.抽气腔采用无油结构设计并设置了气镇装置，可以抽除一般性气体、可凝性气体、腐蚀性气体和含有粉尘的气体。
- 3.采用波纹管机械密封与进口PTFE唇封及低压氮气密封组合密封，可提高真空泵的密封性能，延长真空泵的使用寿命。
- 4.优化了内部结构设计和排气道布局，可以进一步减少排气阻力，提高真空泵对可凝性物质的处理能力。
- 5.整体水冷结构布局，降低泵的整体温升，提高真空泵长期可靠运行能力，满足各种工况条件使用。
- 6.过流部件进行表面防腐处理，采用多种不同的耐腐涂层处理，适应各类特殊工艺流程。
- 7.与其它机械真空泵比较，可以达到30%~35%以上的节能效果。并且可以和罗茨真空泵组合使用，节能效果更加明显。
- （1）工业炉/热处理（表面硬化，淬火，烧结，渗碳，熔炼等）
- （2）化工、制药
- （3）镀膜
- （4）冶金
- （5）检漏
- （6）包装印刷。
- （7）干燥工艺
- （8）尾气回收
- （9）锂电池
- （10）太阳能
- （11）电力行业
- （12）微电子行业
- （13）风动试验
变螺距螺杆真空泵规格参数
注意 ：
表中提供的螺杆干式真空泵的冷却水量是使用20℃常温水的量。当螺杆干式真空泵使用后置冷却装置时冷却水量会有所增加，进出水温度差一般控制在7℃以下为宜。
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