光刻机NX-B200/1000/2000/2500/2600纳米压印光刻机、 简称NIL 、NIL光刻机、软紫外纳米压印，热压印, 紫外纳米压印步进闪光压印, 软模具的, 热和紫外复合压印工艺 逆压印, 激光辅助直接压印, 连续压印，滚压印, 基底完整压印光刻, 软分子尺度压印, 超声纳米压印, 静电辅助纳米压印, 流体介电泳和电毛细力驱动纳米压印
光刻机NX-B200/1000/2000/2500/2600
型号 | 选购说明 |
NX-A10 小型台式基板纳米压印系统（热压印或紫外压印） | zui大50毫米直径压印面积 热压印 加热速度>200℃/分钟 制冷速度>60℃/分钟 |
NX-A20 小型台式基板纳米压印系统（热压印和紫外压印） | zui大50毫米直径压印面积 热压印和紫外压印 加热速度>200℃/分钟 制冷速度>60℃/分钟 58mW/cm2紫外LED光源；365纳米或395纳米波长可选；全自动化控制 |
NX-B100 多功能整片基板纳米压印系统（热压印或紫外压印） | zui大75毫米直径压印面积 热压印 加热速度>200℃/分钟 制冷速度>60℃/分钟 |
NX-B200 多功能整片基板纳米压印系统（热压印和紫外压印） | zui大75毫米直径压印面积 热压印和紫外压印 加热速度>200℃/分钟 制冷速度>60℃/分钟 58mW/cm2紫外LED光源；365纳米或395纳米波长可选；全自动化控制 |
NX-1000 多功能整片基板纳米压印系统（热压印或紫外压印） | 标配4英寸,6或8英寸压印面积可选 热压印 加热速度>300℃/分钟 制冷速度>150℃/分钟 |
NX-2000 多功能整片基板纳米压印系统（热压印和紫外压印） | 标配4英寸,6或8英寸压印面积可选 热压印和紫外压印 加热速度>300℃/分钟 制冷速度>150℃/分钟 200W窄带紫外光源；365纳米或395纳米波长可选；全自动化控制 |
NX-2500 多功能整片基板带对准功能多层次的纳米压印系统 | 标配4英寸,6或8英寸压印面积可选 热压印和紫外压印 加热速度>300℃/分钟 制冷速度>150℃/分钟 200W窄带紫外光源；365纳米或395纳米波长可选；全自动化控制 带对准功能（亚1微米对准精度） 多层次的纳米压印 对准模块 <1μm 3σ对准准确率 X, Y, Z, Theta平台 分场光学和CCD相机 |
NX-2600 多功能整片基板带对准功能多层次的纳米压印和高分辨率光刻系统 可选背面对准 | 标配4英寸,6或8英寸压印面积可选 热压印和紫外压印 加热速度>300℃/分钟 制冷速度>150℃/分钟 200W窄带紫外光源；365纳米或395纳米波长可选；全自动化控制 带对准功能（亚1微米对准精度） 多层次的纳米压印 对准模块 <1μm 3σ对准准确率 X, Y, Z, Theta平台 分场光学和CCD相机 标配5”模板,标配4”直径基板 其他尺寸可以提供500瓦紫外水银灯光源
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