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FR-Scanner扫描型膜厚测试仪

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公司名称北京中兆国仪科技有限公司
品牌
型号
所在地北京市
厂商性质其他
更新时间2024/3/17 9:56:53
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公司介绍主营产品

北京中兆国仪科技有限公司是专业提供实验室设备和仪器仪表的公司，是集设计、开发、销售与服务为一体的现代企业。中兆国仪仪器为广大企业、高等院校、科研机构、环保单位、电子电力单位等提供优质的产品和服务。中兆国仪仪器坚持以市场需求为导向，以客户需求为己任。一直致力于用更好的服务来发展客户，通过与众多的国内品牌厂商的紧密合作，建立了完善的供应链体系。中兆国仪产品：北京中兆国仪科技有限公司产品涵盖仪器仪表、实验室仪器、水质分析仪器、农业仪器、环境检测、无损检测、光学仪器、气体检测仪器、分析仪器、化学仪器、物理仪器、基础仪表、教学仪器等，总计数千种产品型号。产品广泛应用于高等院校、科研单位、石油化工、环境监测、电子电力、机械制造、生物制药、铸造冶炼、模具制造、信息通讯、食品酿酒、纺织服装、工程建筑等各个行业。

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扫描型膜厚测试仪全自动，超快速，高精准等膜厚表征绘制和膜厚涂覆的光学特性，利用光学反射方法来测量和自动分析薄膜涂层的表征。

FR-Scanner扫描型膜厚测试仪产品信息

扫描型膜厚测试仪

是简洁易操作的台式膜厚仪，适用于在大尺寸基板上的薄膜和涂层上，利用光学反射方法来测量和自动分析薄膜涂层的表征。

扫描型膜厚测试仪

膜厚仪是可通过测定放置在真空托盘上的任何大小的半导体晶圆片，快速计算出其厚度、折射率、均匀性、颜色等参数。

膜厚仪的光学扫描系统，采用一套又可配套的光谱仪，集成白炽和LED混合的光源，以及其他光学部件。在本系统设计中没有任何弯曲或移动探针。因此，在精确度、重复性和长期性方面，光纤具有优异的性能。确保系统结果输出的稳定性。此外光源的特殊设计提供极长寿命，可达10000小时以上。

系统参数	FR-Scanner-E VIS/NIR	FR-Scanner-F VIS/NIR	FR-Scanner-F VIS
样片尺寸	晶圆片: 2in-3in-4in-6in-8in. 不规则样片等
R向分辨精度	10μm	5μm	5μm
角度分辨精度	0.2°	0.1°	0.1°
光斑大小	500μm (直径): 反射的区域
zui小膜厚	100nm
光谱范围	350nm - 1100nm	350nm - 1100nm	550nm – 900nm
光谱仪参数	3648 pixels
光源平均使用寿命	10000小时
膜厚范围	20nm-90μm	20nm-90μm	100nm-190μm
测量分辨率	<0.1nm	0.06nm	0.06nm
测量稳定范围	<0.1nm	0.06nm	0.06nm
测量精度	1nm	1nm	1nm
扫描速率	200meas/min 5points: 6sec 25points: 15sec	625meas/min 5points: 4sec 25points: 9 sec	625meas/min 5points: 4sec 25points: 9 sec
通讯接口	USB 2.0 / USB 3.0. Any PC running Windows 7/8/10 64bit.
尺寸	485W x 457L x 500H mm
功率要求	110V/230V, 50-60Hz, 300Watts
重量	23kg	40kg	40kg