光学轮廓测量显微镜
一、技术参数
1. 观察筒：正像观察筒，45°铰链式三目，瞳距调节：50mm~76mm，两档分光比
双目:三目=100：0 或 0:100
2.移动行程范围： X:100mm;Y:100mm
分辨率 Z 轴不小于 0.02um，XY 轴不小于 0.10um,Optical 不低于 0.40um
3.工作台尺寸： 355×240mm (玻璃台面尺寸：210×175mm)
4.可检测表面粗糙度：不小于 40nm
5.物镜： 5X、10X、20X、50X、100X
6.总放大倍数 50X-1000X
7.双照明光源，带可变视场光阑与孔径光阑，均可调中心
反射照明： 高亮度5V，3W（LED）
投射照明： 高亮度5V，3W（LED）
8. 适配镜：直径：59mm, 0.5 倍，内调焦距：0～3mm 调焦后可锁紧；
感光元件 1/2″，数据采集速度，可达 30 帧/秒，高分辨率：2048×1536
配置清单
序号 | 名称 | 单位 | 数量 | 备注 |
1 | 显微镜主机 | 台 | 1 | |
2 | XY移动手轮 | 组 | 1 | |
3 | 观察镜组 | 套 | 1 | |
4 | 物镜5X、10X、20X、50X、100X | 套 | 各1 | |
5 | 目镜10X | 对 | 1 | |
6 | 适配镜0.5X | 只 | 1 | |
7 | 数据采集系统 | 套 | 1 | |
8 | 成像装置系统 | 套 | 1 | |
9 | LED照明装置 | 套 | 1 | |
10 | 联想品牌电脑 | 套 | 1 | |
11 | 电源线 | 台 | 1 | |
12 | 产品装箱单 | 份 | 1 | |
13 | 随机文件 | 份 | 1 |
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