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日立 离子研磨仪 IM4000II

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称富泰微科学仪器(上海)有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地上海市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2024/4/3 15:35:53
  • 访问次数52
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富泰微科学仪器(上海)有限公司总部坐落于上海,在江苏设立办事处。富泰微专注纳米级微观光学仪器研发,销售以及售后服务。主要产品包括:SEM扫描电子显微镜、AFM原子力显微镜、TEM透射电子显微镜、FIB聚焦离子束显微镜、共聚焦显微镜、浩视3D显微镜、ZYGO白光干涉仪、ZYGO激光干涉仪、台阶膜厚仪等纳米级光学测量仪器。 公司拥有专业化的管理团队和完善的管理体系,内部建立了完善的服务平台。从产品售前到售后服务都能进行全程的跟踪与管控。公司拥有多年行业管理和销售经验,在细分行业中,得到行业中客户及同行业的高度认可。 我司产品被广泛应用于化工、电子、半导体、材料、生物技术、食品以及政府单位和高校科研院所等领域。
离子研磨仪
产品介绍 日立离子研磨仪标准机型IM4000Ⅱ能够进行截面研磨和平面研磨。还可通过低温控制及真空转移等各种选配功能,针对不同样品进行截面研磨。
日立 离子研磨仪 IM4000II 产品信息



高效率的截面研磨


IM4000II配备截面研磨能力达到500 µm/h*1以上的高效率离子枪。因此,即使是硬质材料,也可以高效地制备出截面样品。


*1   在加速电压6 kV下,将Si片从遮挡板边缘突出100 µm并加工1小时的深度


样品:Si片(2 mm厚)
加速电压:6.0 kV
摆动角度:±30°
研磨时间:1小时


截面研磨时如果摆动的角度发生变化,加工的宽度和深度也会发生变化。下图为Si片在摆动角度为±15°下进行截面研磨后的结果。除摆动角度以外,其他条件与上述加工条件一致。通过与上面结果进行对比后,可发现加工的深度变深。


对于观察目标位于深处的样品来说,能够对样品进行更快速的截面研磨。


样品:Si片(2 mm厚)
加速电压:6.0 kV
摆动角度:±15°
研磨时间:1小时



复合型研磨仪


截面研磨


  • 1、即使是由不同硬度以及研磨速度材质所构成的复合材料,也可以通过IM4000Ⅱ制备出平滑的研磨面


  • 2、优化加工条件,降低因离子束所致样品的损伤


  • 3、可装载20 mm(W) × 12 mm(D) × 7 mm(H)的样品


平面研磨

  • 直径约为5mm范围内的均匀加工

  • 应用领域广泛

  • 可装载直径50 mm × 高度25 mm的样品

  • 可选择旋转和摆动(±60度,±90度的摆动)2种加工方法

平面研磨的主要用途

  • 去除机械研磨中难以消除的细小划痕和形变

  • 去除样品表层部分

  • 消除因FIB加工所致的损伤层



产品选配项:


低温控制功能*1

将液氮装入杜瓦罐中,以此作为冷却源间接冷却样品。IM4000Ⅱ配有温度调节控制功能,以防止树脂和橡胶样品过冷


  • *1 需与主机同时订购。



真空转移功能

离子研磨加工后的样品可以在不接触空气的状态下直接转移到SEM*1、AFM*2上。真空转移功能与低温控制功能可同时使用。(平面研磨真空转移功能不适用低温控制功能)。

  • *1 仅支持带有真空转移交换仓的日立FE-SEM

  • *2 仅支持真空型日立AFM。


观察加工过程的体式显微镜

右图为用于观察样品加工过程的体式显微镜。搭载了CCD相机的三目型显微镜能够在显示器上进行观察。也可配置双目型体式显微镜。



产品规格:


主要内容
使用气体氩气
氩气流量控制方式质量流量控制
加速电压0.0 ~ 6.0 kV
尺寸616(W) × 736(D) × 312(H) mm
重量主机53 kg+机械泵30 kg
截面研磨
研磨速度(Si材料)500 µm/h*1以上
样品尺寸20(W)×12(D)×7(H)mm
样品移动范围X±7 mm、Y 0 ~+3 mm

离子束间歇加工功能

开启/关闭 时间设定范围

1秒 ~ 59分59秒
摆动角度±15°、±30°、±40°
广域截面研磨功能-
平面研磨
加工范围φ32 mm
样品尺寸Φ50 X 25 (H) mm
样品移动范围X 0~+5 mm

离子束间歇加工功能

开启/关闭 时间设定范围

1秒 ~ 59分59秒
旋转速度1 rpm、25 rpm
摆动角度±60°、± 90°
倾斜角度0 ~ 90°


*1 将Si片从遮挡板边缘突出100 µm并加工1小时的深度。


选配项


项目内容
低温控制功能*²通过液氮间接冷却样品,温度设定范围:0°C ~ -100°C
超硬遮挡板使用时间约为标准遮挡板的2倍(不含钴)
加工过程观察用显微镜放大倍数 15× ~ 100× 双目型、三目型(可装CCD)


*2 需与主机同时订购。冷却温度控制功能在使用时,部分功能可能使用有限。


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