美国METONE标准粒子发生装置255

美国METONE标准粒子发生装置255 校正的基本步骤

现假设对一台常见的 Metone227B 作校正

•首先，要清楚 Metone3413 和 Metone227B 有何差别，其测试原理一样，但 Metone3413 流速为 1CFM （立方英尺 / 分钟），而 Metone227B 则为 0.1CFM 。

•首先，请将洁净台开机，工作半小时，其间内也打开 Metone227B 和 Metone3413 ，让其预热半小时。

•准备好 255 的取样器管，并搭接好其所有气体管路。

•将配好的标准液（如 0.301um ）放入脱原子瓶中，注意勿让液体超过喷嘴。

•设置 Metone3413 和 Metone227B 的基本参数

•取样时间都设置为 00 ： 01 ： 00

•取样次数都设置 03

•取样模式都设置为 Auto

•间隔时间都设置为 00 ： 00 ： 05

•读数模式都设置为 Cumulative

注：以上设置相同，因其流速有 10 倍差，故 Metone3413 测试结果会是 Metone227B 的 10 倍。

•此时，打开 255 电源，调节脱原子气体阀和干燥气体阀，在调至喷嘴阀处呈气雾出现，干燥气体流速计约 60SCFH 时后，保持其工作状态。

•此时，让 Metone227B 和 Metone3413 同时工作，看其三次的平均结果，若在 20% 以内，视为合格。

•拆下脱原子瓶，重新滴入其它标准粒子，重复该测试。

•以上校正只是对比校正，尚可用万用表对其基本参数测量，用示波器对其信号捕捉等来辅助调校。