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RPS晶圆干法去胶机

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称深圳市长丰检测设备有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地深圳市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2024/4/16 13:08:56
  • 访问次数56
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公司是一家专注于生产:模拟环境可靠性试验设备、力学设备、实验室研发检测设备、大型智能高温老化设备、非标自动化设备、半导体表面清洗设备等产品的企业,产品性能优良、耗能低、经久耐用,并可根据用户的特殊需求进行定制。专门为通信、汽车电子、半导体、新能源材料等领域提供测试解决方案及产品检测。公司总部位于深圳市宝安区沙井以销售研发为主,华南代工厂位于东莞市虎门镇以及万江镇,华东代工厂位于江苏省昆山市均以生产为主;公司职员大专及以上学历人才占85%,拥有独立自主的研发团队及规范专业的生产团队﹔同时也获得一系列的证书、知识产权及°企业"”的认证。公司自成立以来不断的引进各种专业人才对产品进行优化升级、改良,使得销售额年均增长达到30%~50%左右,产品也由单一环境可靠性试验设备逐步拓展到力学设备、非标自动化设备以及半导体表面清洗等设备涉足面广基本实现全面稳定性发展,并随着在国内环境试验设备等各行业里逐步建立起的良好口碑和广泛的品牌认知,我司先后成为诸多企业及各地高校的亲密合作伙伴。公司始终坚持从技术创新开发、设计、成品组装、调试、测试等每个环节,以务实、专业、严苛的质量标准进行产品管理。品质至上、朋务至优是我司的发展理念,客户的满意即是我们的目标。产品优势:1、产品性能优良、经久耐用,并可根据客户的特殊需求进行定制。2、独立自主的研发团队,规范的生产团队,严格按照工艺要求生产,外型美观。3、核心部件采用国外,可保证试验机的性能及品质。拥有健全的售后服务保证体系。
振动耐磨擦试验机
一、常規參數1.安裝尺寸:1300*2300*2000mm(寬*長*高)2.設備參數配置:三相電壓380V,50/60Hz,總電流不超過50A;3.設備部署環境:萬級淨化間,溫度21~23℃,相對濕度45±5%
RPS晶圆干法去胶机 产品信息

一、常規參數

1.安裝尺寸:1300*2300*2000mm(寬*長*高)

2.設備參數配置:三相電壓380V,50/60Hz,總電流不超過50A;

3.設備部署環境:萬級淨化間, 溫度21~23℃,相對濕度45±5%;

4. MTTR/平均故障修復時間<4小時,MTBF/平均時間>250小時,

Uptime/正常運行時間≥92% .

5. Wafer Breakage/碎片率≤1/10000PCs

6.Descum WPH/descum 產能≥90wafers(基於20秒descum工藝時間程式)

7.base pressure/腔體底壓≤20mTorr;leakage check腔體漏率≤10mtorr/min

8.Partical/顆粒度 :<30ea@0.2um  腔體單次傳片大於0.2um的顆粒增加量小於20顆

9.支持SECS/GEM通訊協議

二、技術規格

2.1設備規格

主機部分

No.

Item/專案

Specification/規格說明

1

Plasma Source

 

RPS Plasma Source/微波等離子源,1000W, 2.45GHz

RF bias(底部射頻偏壓) 600W,13.56MHz

2

Process Chamber

工作臺chuck溫度範圍: 20~50℃;

可選chuck控溫:50~250℃

水冷機控溫

適合wafer尺寸: 200mm wafer

腔體數量: 2 Al 6061 腔體

腔體自動門:臺灣AdvanTorr

3

Gas Supply System

單個腔體工藝氣路3

MFC品牌:MKS

腔體氣路: O2/N2/Ar,CF4為選配氣體

4

Vacuum System

幹泵: 愛德華

壓力控制: Throttle valve 蝶閥 臺灣HTC

真空計:Inficon Vacuum Gauge

5

Auto Wafer Transfer  System

上料臺:2 cassette 上料臺,適合 8 inch wafers;

Cassette wafer mapping:晶圓擺放檢測

VAC Robot; 日本JEL

6

Control System

PC:工業電腦 Windows系統控制;

操作軟體: 介面友好,圖形化視圖,自動保存log檔

7

Safety System

EMO: 三個急停按鈕

Interlock硬體安全互鎖: 硬體互鎖包括 Power/Temp/Vacuum


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