◆ 大探针电流90nA，实现快速加工和大面积加工
焊线的截面加工
（加工尺寸 宽：95µm 深：55µm， 加工时间 20min）
◆ 通过提高极低加速电压（0.5kV～）加工及低加速电压二次电子图像分辨率，实现制备损伤率更低的TEM样品
*1kV以下为选配
◆ 可观察高分辨率SIM成像（二次电子成像分辨率高达4nm@30kV）
正常部位 弯折部位
铝罐的截面SIM图像
◆ 采用高精度5轴电动机械优中心马达台
可在样品台移动（包括倾斜）时自动对多个部位进行多种加工。
◆ 优越的操作性能和多种多样的加工模式
截面制备程序加工
TEM/STEM样品程序加工
自动连续加工
TEM样品自动连续精加工软件
位图加工
Vector Scan加工
制备纳米精度三维结构样品 其他
悬空纳米导线制作
样品来源：兵库县立大学 松井真二 先生
◆ SIM像三维重构分析
等间隔截面加工与截面观察的往复进行，可取的多张截面连续SIM像，并进行3维重构。由此可判断样品中颗粒，孔洞等3维分布状态。
半导体封装材料中的填料分布分析示例
◆ 使用多路气体系统（MGS-II）修复电路
该系统可对应保护膜材料、配线材料、绝缘膜、加速蚀刻等多种用途，照射多种气体。
钨沉积气体
铂沉积气体
绝缘膜制备用沉积气体
氟化氙蚀刻气体
有机类蚀刻气体
碳沉积气体
使用XeF2气体实现的大深径比孔加工
以及采用钨沉积引线
◆ 丰富多样的坐标链接功能
日立公司的坐标链接功能丰富多样，可确定正确的加工位置和大幅缩短时间。
光镜图像与SIM像的链接
双光标功能
日本zhuanli第4634134号 美国zhuanli第7595488号
与缺陷检测设备建立坐标链接
已截断的晶元或芯片也可与缺陷检测设备建立坐标链接。
CAD联用导航软件
4通道供气系统
自动连续加工软件
TEM样品自动加工软件
控制器显微镜 其他
*：可选择其他MI系列的各种选配件。
采购中心
