用途
● 高分子材料表面的官能基付与→粘合性、密着性提高。通 过氧化反应，在表面生成-OH，＞C=O，-COOH等官能 基（微量的水分及二氧化碳影响）。 同样在氮气等离子体中，氮原子被吸收在表面中，生 成-NH 2等官能基。
● 硅晶圆蚀刻。
● 材料表面改性（金属、聚合物、薄膜、陶瓷等）。
● 石棉预处理（膜过滤灰化）。
● 从电子设备到生化市场。
● 低温灰化（高分子材料、煤炭、食品等）。
● 使用玻璃和PDMS板粘贴PDMS芯片。
● 表面有机物去除
特点
● RF为200 W的高性能输出类型（PR200）。
● 由于是尺寸紧凑的台式机，很小的位置都可以安装。
● 同步，自动调谐，操作简单（PR200）。
● 等离子体反应器（灰化设备）（PR200）。
● 同步、自动调谐（PR200）。
反应腔
［例］石棉分析前处理
规格
| 型号 | PR200 | PR300 | PR301 | |
| 模式 | DP模式，桶型 | |||
| 控制部 | 高频输出 | Max300W | ||
| 频率 | 13.56MHz | |||
| 同调方式 | 手动2轴同调方式 | |||
| 反应部 | 反应腔 | 耐热玻璃 Φ100×160mm | 超硬质玻璃 Φ64×160mm×3室 | 耐热玻璃 Φ118×160mm |
| 反应气体 | 1系统（氧气）流量计 | |||
| 控制 | 手动密闭阀 | 自动减压、自动密闭阀 | ||
| 配管材质 | 不锈钢、特氟龙、铜、铜合金 | 不锈钢、特氟龙 | ||
| 外形尺寸 | W350×D400×H500mm | W438×D520×H556mm | W438×D520×H630mm | |
| 重量 | 约10kg | 约36kg | 约34kg | |
| 电源 | AC100V 15A | AC100V 7A | ||
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