一、设备用途：
化学气相沉积炉主要用于碳化硅（SIC）及氮化硼（BN）等新材料的制备。
二、设备特点：
1 立式结构，炉门采用丝杠升降或液压升降/手动升降。
2 双层炉壳结构，内层不锈钢，外层为碳钢，中间通水冷却。石墨碳棒加热体，石墨碳毡保温层保温效果好。
3 控制方式为PLC加触摸屏方式，有手动及自动控制切换。自动化程度高，操作方便。
4 主要电器元件采用施耐德及欧姆龙品牌，性能稳定、可靠。
5 配备出、装料料车，方便操作及出装料，提高工作效率。
三、主要技术参数：
| No. | 型号 | 工作区尺寸（ØXH）mm | 高温度 (℃) | 真空度 (Pa) | 压升率 (Pa/h) | 温度均匀性 (℃) | 功率 （KW） |
| 1 | ZT-60-15 | 300X500 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±10 | 60 |
| 2 | ZT-145-15 | 600X800 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±10 | 145 |
| 3 | ZT-220-15 | 800X1000 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±15 | 220 |
| 4 | ZT-270-15 | 1000X1500 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 275 |
| 5 | ZT-550-15 | 1500X2000 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 550 |
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