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特点:长寿命激光技术从而降低了使用成本 流量1cfm(28.3 升/ 分),可最小监控0.3μm(4503)和0.5μm(4505) 粒径颗粒 0.3-5.0μm和0.5-10.0μm监测范围 RS422 脉冲或者RS485Modbus, 输出接线方式为RJ45 与 FMS 系统连接和通讯 应用:电子半导体厂洁净室空气监控,惰性气体采样和微环境监控
特点: 长寿命激光技术从而降低了使用成本 流量1cfm(28.3 升/ 分),可最小监控0.3μm(4503)和0.5μm(4505) 粒径颗粒 0.3-5.0μm和0.5-10.0μm监测范围 RS422 脉冲或者RS485Modbus, 输出接线方式为RJ45 与 FMS 系统连接和通讯 应用: 电子半导体厂洁净室空气监控,惰性气体采样和微环境监控 性能: 监控最小粒径尺寸0.3μm(4503) 0.5μm(4505) 流速采用小流量0.1cfm(2.83 升/ 分) 粒径通道数为2 粒径通道 4503 0.3-5.0μm 4505 0.5-10.0μm 计数效率 4503 50%@0.3μm 99%@>0.45μm 4505 50%@0.5μm 99%@>0.75μm 激光光源为长寿型激光二极管(10 年 MTTF); 浓度损失为<5%@2,000,000颗/ft3 电源采用9-28VDC;通讯协议方式为Modbus 或脉冲
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