SPK-500S宽幅射频等离子清洗机是一款不会对材料表面造成损伤,不会出现断弧、偏弧、不起弧等现象,无需真空腔体,也无需有害气体吸出系统的设备,可客制化宽幅线性等离子流水线设备。
工作原理
等离子表面处理是通过对气体施加足够的能量使之离化成为等离子体。等离子体的“活性”组成包括:离子、电子、原子、活性基因等。等离子处理就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、改性、刻蚀等目的。
宽幅等离子清洗机的结构主要分为四大组成部分:高压激励电源、线性等离子发生装置、气体输送系统、控制系统。
(A)高压激励电源:采用射频电源(13.56MHz)进行激励,保障等离子体均匀,处理过程稳定。参数根据样品实际情况可进行调节,已达到的改性效果。
(B)线性等离子发生装置:采用的等离子发生结构,常规处理温度<35℃,均匀稳定,提高和保证设备的使用寿命和性能。
(C)气体输送系统:搭配Ar和与O₂两路气体,根据清洗材质的不同,搭配不同气体。
(D)控制系统:控制系统作用在于控制整个宽幅射频等离子清洗设备的运行,以及整体系统的保护。
行业应用
行业专用方案
手机中框软排线应用
技术要求①:采用射频电源,使用载具循环模式,避免排线处理时气流过大,容易出现折断,并且需同时满足产能。
技术要求②:搭配水冷工艺及工艺气体配方,达到处理均匀高效,处理温度低不对产品造成影响。
技术要求③:采用前放后取方式,配备2种可选模式程序,全面的报警功能,可对接工厂流水线。
技术要求①:采用射频电源,使用载具循环模式,避免排线处理时气流过大,容易出现折断,并且需同时满足产能。
技术要求②:搭配水冷工艺及工艺气体配方,达到处理均匀高效,处理温度低不对产品造成影响。
技术要求③:采用前放后取方式,配备2种可选模式程序,全面的报警功能,可对接工厂流水线。
设备视频
产品优势
均匀度
直接作用于材料表面,同一材料不同位置的处理均匀性很高,这一特性对于邦定、涂膜、印刷等制程十分重要。
直接作用于材料表面,同一材料不同位置的处理均匀性很高,这一特性对于邦定、涂膜、印刷等制程十分重要。
01
喷枪
采用的等离子发生结构,常规处理温度<35℃,均匀稳定,不出现断弧、偏弧、不起弧等现象,满足不同场合温度要求,不对清洗产品造成温度影响。
采用的等离子发生结构,常规处理温度<35℃,均匀稳定,不出现断弧、偏弧、不起弧等现象,满足不同场合温度要求,不对清洗产品造成温度影响。
02
稳定激励电源
配备晟鼎定制进口射频电源,搭配全自动真空电容匹配器,产生高密度等离子体,确保出众的清洗效果。
配备晟鼎定制进口射频电源,搭配全自动真空电容匹配器,产生高密度等离子体,确保出众的清洗效果。
03
软件
人性化操作界面,易操作及维护,全程工艺可控,可在线设置、修改、监控各种工艺参数,可随时调用气体配方等记录。
人性化操作界面,易操作及维护,全程工艺可控,可在线设置、修改、监控各种工艺参数,可随时调用气体配方等记录。
04
长期稳定保障
更可靠的功放与直流模块,采用全自动真空电容匹配器提供长期稳定的制程时间保障。
更可靠的功放与直流模块,采用全自动真空电容匹配器提供长期稳定的制程时间保障。
05
全面安全防护
具备气压报警感应系统、功率报警感应系统、声光报警功能。
具备气压报警感应系统、功率报警感应系统、声光报警功能。
06
搭配流水线生产
根据用户现场需求,配置的流水线生产方案,大大提高生产效率。
根据用户现场需求,配置的流水线生产方案,大大提高生产效率。
07
应用案例
PCB钻孔除胶等离子清洗
手机屏四大组成构造
手机玻璃盖板表面清洗活化
手机玻璃盖板镀膜前处理
PCB内层干膜等离子清洗
塑料丝印前等离子清洗
半导体封装领域等离子清洗
玻璃镀膜前等离子清洗
等离子在FPD行业应用
等离子清洗机应用在COG工艺
产品推荐
SPK-800S宽幅射频等离子清洗机
台800mm超长处理宽度,单位面积处理时间提升3倍
SPK-280Z宽幅中频等离子清洗机
线性等离子发生装置适用于各种狭窄空间,可根据产品的宽度进行定制,实现连续生产作业
SPK-410Z宽幅中频等离子清洗机
采用晟鼎中频数字电源,确保等离子体均匀,处理过程稳定
SPA-5800大气等离子清洗机
支持数字通信接口和模拟通信接口,可对接MES系统
SPV-100真空等离子清洗机
超低处理温度45℃,不造成热影响,确保稳定的处理效果
宽幅等离子主机
设备尺寸 | 1800*1107*1675mm(长*宽*高) |
重量 | 280KG |
需求电源 | AC 220V/50Hz 单相2.5KW |
等离子发生器规格
电源功率 | 0-1000W可调(建议0-450W) |
电源频率 | 13.56MHz |
匹配器 | 全自动真空电容匹配器 |
等离子枪头规格
处理宽幅 | 500mm |
枪头尺寸 | 570*90*74mm(长*宽*高) |
重量 | 10KG |
枪头可调节高度 | 0-10mm(调节精度±0.3) |
常用处理高度 | 1-5mm以内 |
枪头冷却范围 | 25-35℃ |
工艺气体
使用气体 | Ar和O2两路气体 |
Ar气体调节范围 | ≤50L/min |
O2气体调节范围 | ≤50SCCM |
流水线规格
流水线速度 | 0-100mm/s可调 |
传送皮带 | 1.8米 |
皮带材质 | 防滑PU |
感应及报警
感应系统 | 气压报警、功率报警 |
报警 | 具备声光报警功能 |