4吋激光干涉仪

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公司名称二面体（上海）科技有限公司
品牌
型号
所在地上海
厂商性质其他
更新时间2024/5/24 10:26:00
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公司介绍主营产品

二面体（上海）科技有限公司是一家集材料、原料、设备、检测及科技服务等业务为一体科技型企业。公司专注于半导体、功能晶体、新型玻璃、陶瓷材料、高纯元素及化合物等产品的研究和开发，为多领域的研发提供优化的解决方案。公司还致力于开发多种高技术设备，为高校、科研机构，企业研发中心，提供更专业更便捷的工具。公司以“粒子猫”科研服务品牌提供专业的检测、咨询等科研服务，助力研发人员更专注科研、更高效地产生高质量的创新成果，并促进成果转化。二面体科技秉承“创新就是答案”的价值观，成就客户，提升自我，努力把公司打造成科技领域的优秀企业，推动科技事业的发展。

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真空检漏设备

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激光干涉仪采用相移技术准确表征被测表面的三维形貌，测量精度高达 0.06um 甚至更高，广泛用于平面光学元件高精度检测。

4吋激光干涉仪产品信息

4吋激光干涉仪

激光干涉仪采用相移技术准确表征被测表面的三维形貌，测量精度高达 0.06um 甚至更高，广泛用于平面光学元件高精度检测。

应用

广泛用于平面光学元件高精度检测。

特点

1. 准确测量 100mm 口径以下的光学元件的透射波前、反射波前。
2. 测量精度和测量重复性能媲美美国 Zygo 和 4D 干涉仪。
3. 根据客户要求定制开发。

技术指标

项目	型号
测量方式	菲索干涉原理
移相方式	波长移相或机械移相
主机波长	632.8nm (可定制)
主相机分辨率	2048*2048
测量口径	4-inch(101.6mm)
主相机调焦能力	有
主相机采集速度	50Hz
透射平面参考镜面形误差(PV)	λ/10
反射平面参考镜面形误差(PV)	≦ λ/10(可定制 λ/20)
空腔精度(PV)	≦ λ/10， λ=632.8nm
面形误差测量重复性(RMS)	≦ 1nm (2δ)
测量高平行度光学元件透、反射波前	支持
标准配件	计算机、条纹监视及分析软件
相干长度	1.0m (若被扩束，此参数会变长)
工作温度要求	22℃ ±1℃
工作温度波动要求	每小时变化小于 1℃
工作湿度要求	55%±10%RH
隔震要求	气浮平台，固有频率：1-2Hz
工作电压	AC 110-220V,50/60Hz