这种气路控制系统适用于控制一种到三种气体的通入,管式炉可以放在它上面,结合科晶集团的管式炉,它可以用于CVD系统及退火炉,用来研究气体环境对材料的影响。
技术参数
产品名称 混气系统3路浮子--GSL-3F 浮子流量计 三种不同量程的浮子流量计,控制精度4%。 A:10-100ml/min B:16-160ml/min C:25-250ml/min 机械压力表(混气罐) -0.1-0.15MPa 接头和气管 在混气系统右侧安装三个气体进口 两通道气体流入气体混合罐,另一个通道不通过气体混合管。 两个出口(可连接管式炉)安装在混气系统的左侧(一路混合气体和一路单独的气体)。 12”长1/4”直径的聚四氟管及快插接头。 真空针阀 采用SS304不锈钢。 安装在混气系统的右侧。 安装带刹车的转向轮 外形尺寸:600L×600W×650H mm 可选 CVD 或者PECVD 液相气体发生器 净重 约75kg 质保期 一年保修,终身技术支持。 特别提示:1、耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2、因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 免责声明 本站产品介绍内容(包含产品图片、产品描述、技术参数等)仅供参考。可能由于更新不及时和网站不可预知的BUG造成数据与实物的偏差,如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,公司会不定期完善和修改网站任何信息,怒不另外通知,请您见谅。