1905年，法国工程师 Leon Creux 发明了涡旋压缩机，而今涡旋泵被用作无油真空泵。每台涡旋泵都由两个阿基米德螺旋件构成，这两个螺旋件彼此相对并错开180°，因此形成了若干个大小不一的月牙形凹槽。采用偏心驱动的设计，运动螺旋件相对于固定螺旋件是按确定轨道旋转，从而缩小了凹槽容积并将气体从外朝内挤压，实现抽气功能。保持精确的制造公差并选择合适材料对于涡旋泵质量十分重要。
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灵活
§抽速：7, 10, 15, 18 m³/h §1相或3相电版本
可靠
§干泵：工艺气体不接触润滑剂
§ATEX认证（内部ATEX II 3 G c IIB T4）
§水蒸气处理能力大
§苛刻应用版（SC C plus）
简单
§密封垫使用寿命延长（>21900小时）
§密封垫更换简单（10分钟）
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典型应用
- 电子束焊接
- 激光器
- 检漏系统
- 加速器/同步加速器
- 表面分析仪器
- 扫描电子显微镜
- 进样室
- 光谱仪
- 照明
- 涡轮分子泵系统前级真空泵
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SC 7 plus | SC 10 plus | SC 15 plus | SC 18 plus | |
抽速 | 6.1 m³/h 3.6 cfm | 10.6 m³/h 6.2 cfm | 14.5 m³/h 8.5 cfm | 20 m³/h 11.8 cfm |
关气镇极限压强 | 0.02 mbar 0.015 Torr | 0.009 mbar 0.007 Torr | 0.009 mbar 0.007 Torr | 0.03 mbar 0.02 Torr |
水蒸气处理量 | 100 g/h | 140 g/h | 280 g/h | 220 g/h |
水蒸气允许压强 | 22 mbar | 18 mbar | 26 mbar | 15 mbar |
噪音值 | 55 dB(A) | 55 dB(A) | 55 dB(A) | 55 dB(A) |
极限下运行能耗 | 260 W | 280 W | 300 W | 260 W |
重量 | 26 kg 57 lb | 26 kg 57 lb | 26 kg 57 lb | 26 kg 57 lb |
漏率 | < 1 x 10-6 mbar l/s | < 1 x 10-6 mbar l/s | < 1 x 10-6 mbar l/s | < 1 x 10-6 mbar l/s |
IP等级 | IP 20 | IP 20 | IP 20 | IP 20 |
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