MOCVD外延滤芯K465i的主要作用是安装在Veeco K465i设备的真空泵前,用于滤除混合气体中的粉尘和颗粒。这种滤芯采用两级过滤工艺,包括粗滤和细滤,能够有效去除不同大小的颗粒杂质,保护设备免受污染12。
具体作用和效果
过滤杂质:滤芯能够分级过滤杂质,有效去除混合气体中的粉尘和颗粒,保护设备免受污染12。
耐高温:滤芯采用耐高温玻纤滤料,长期使用温度可达250度以上,适用于高温环境12。
高精度过滤:滤芯采用高精度的过滤材料,空隙均匀,过滤精度高,能够有效保护设备12。
容污能力强:波纹工艺增加了有效过滤面积,容污能力强,使用周期长