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日本AMAYA株式会社天谷制作旋转式清洗设备

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称埃登威自动化系统设备(上海)有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2025/5/22 7:36:12
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埃登威自动化系统设备(上海)有限公司是一家专为气体分析提供完备解决方案的供应商,是意大利ADEV在华代表处,ADEV是石化化工行业的气体分析系统的领D者,产品同时广泛应用在冶金,食品,制药,钢铁,电子,气体制造,航空航天等行业。多年的分析仪器的研发、生产及气体分析系统的设计和安装经验,使得埃登威自动化系统设备(上海)有限公司成为Z为可靠的、**革新精神的气体分析解决方案的领X品牌!我们的使命创建并完善市场, 高品质和易于操作为工业用户提供仪器仪表和软件解决方案等相关服务提高能源利用率保障安全生产确证产品质量的同时将利润大化 埃登威以客户满意和社会责任为己任我们的客户我们的客户包括亚洲、欧洲和美国的一些顶J公司,与这些客户的合作关系使我们占据了有利地位,激励我们在现在和将来持续进行技术创X。正是我们优X的客户使得我们变得更高更强!在我们的客户包括了法国液化空气公司,林德气体公司,宝钢气体公司,百威啤酒公司等知M企业。上游供应商则囊括了意大利ADEV,瑞士ABB,美国GE等知M企业。我们的员工我们的员工团队由接受过高水平培训的专业人士组成。他们热爱自己的工作,热衷于富有挑战性的任务和机遇,并且具有客户至上的态度、理念和愿望。简言之,我们的人员因客户满意而获得成长!我们把客户的问题当成是我们自己的问题。通向成功的伙伴关系只有真正理解我们所从事的业务,才能走向成功。埃登威系统公司始终专注于客户及其特定需求。埃登威系统公司的技术顾问和开发工程师们一直在研究、开发气体测量的新技术,可为我们的客户提供有前瞻性的、经得起时间考验的解决方案。埃登威自动化系统设备(上海)有限公司在近年获得了快速成长,在未来我们将继续我们的平台战略,让仪表技术在畅行无阻,与我们的用户一道成为更好的自己。
发酵罐
日本AMAYA株式会社天谷制作高清光掩模兼容的旋转式清洗设备伍尔夫系列与高清光掩模兼容的旋转式清洗设备伍尔夫系列清洁溶液高速扩散到清洁表面快速消除异物和反应产物无水痕干燥特征随着LSI变得越来越复杂,光掩模/光罩需要更高的清晰度和准确性。 我们的清洗设备有助于这些产品的高清洁度和产量提高,并合作生产更完整的产品。配备使用功能水的旋转清洗单元,该单元可以通过工件旋转的离心力、臭氧水和添加氨的氢水排放
日本AMAYA株式会社天谷制作旋转式清洗设备 产品信息

日本AMAYA株式会社天谷制作

高清光掩模兼容的旋转式清洗设备伍尔夫系列


产品信息

与高清光掩模兼容的旋转式清洗设备

伍尔夫系列

  • 清洁溶液高速扩散到清洁表面

  • 快速消除异物和反应产物

  • 无水痕干燥

图片关键词

特征

  • 随着LSI变得越来越复杂,光掩模/光罩需要更高的清晰度和准确性。 我们的清洗设备有助于这些产品的高清洁度和产量提高,并合作生产更完整的产品。

  • 配备使用功能水的旋转清洗单元,该单元可以通过工件旋转的离心力、臭氧水和添加氨的氢水排放去除有机物、金属离子和异物,直至检测极限水平。 通过切换和清洁每个清洁溶液,可以高速去除工件上的不纯沉积物,废液管理也是一种**的环境响应工具。

  • 采用
    替代RCA清洗液的清洗液和清洗方法 SPM→臭氧水 ・实现完整的室温清洗(无需高温工艺) ・减少口罩
    上化学溶液的残留量
    ・更**的废液处理(ISO14000措施)


    SC-1 → 氢水加氨
    ・MoSi半色调掩膜的蚀刻预防

性能

PSM *终清洁(无 SPM)
类别不。项目规范
空白1无颗粒>32纳米
2预置%≧95%
图像层
(图案侧)
3QZ 上的剩余软缺陷≧0.05微米 (产率 : 98%)
4移位器上剩余的软缺陷≧0.05微米, ≦10个 (产率 : 98%)
5SRAF(深色)缺失没有遗漏
6图案损坏、静电放电、划痕无损坏
7换档器变化(相位)≦-0.2 度,平均清洁 10 倍
8换档器(变速器)≦0.025%,平均清洁 10 倍
9换档器(CD 平均值)≦0.15nm,平均清洁度为10倍
10换档器(CD 范围)≦0.5nm,平均清洁度为10倍
离子残基11化学残留物 (SO4)≦0.5 ppb
12化学残留物(NH4)≦17.0 ppb

原理图规格

图片关键词

大小

清洗装置本体7300毫米(宽) x 1410毫米(深) x 2300毫米(高)
电源箱1400毫米(宽) x 500毫米(深) x 2150毫米(高)
化学溶液盒2500毫米(宽) x 700毫米(深) x 2000毫米(高)
过滤器框2600毫米(宽) x 700毫米(深) x 2000毫米(高)
热滴机组1250毫米(宽) x 550毫米(深) x 1750毫米(高)
氢水和碳酸水装置1050毫米(宽) x 1500毫米(深) x 2000毫米(高)
臭氧水机组570毫米(宽) x 850毫米(深) x 2000毫米(高)
效用・三相200V、・单相100V、・DIW、・冷却水、・清洁干燥空气、・氮气、・一般排气、・酸性排气、・碱性排气


关键词:过滤器
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