2021-09-01 19:17:20633
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低温真空泵低温真空泵是利用10K（-263℃）低温制冷机作为冷源，通过低温冷凝、低温吸附的原理获得无油高真空的设备，低温真空泵广泛应用于：1）半导体、集成电路、光电器件的镀膜工艺过程；2）光学镜片镀膜；3）磁控
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