2023-12-05 19:02:17227
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- 厂商性质:其他
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- 所在地区:上海市
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LSC系列紧凑型加热汽化系统可在无需载气的情况下进行稳定的材料汽化，例如TEOS（流量600SCCM）和H2O（流量2SLM）。为方便操作，所有设备维护都可以在设备前端进行。
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