2024-07-23 12:05:23130
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实验机理PECVD是借助于辉光放电等方法产生等离子体，辉光放电等离子体中：1,电子密度高109-1012cm3电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍，使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应，从而实现薄膜材料生长的一种
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