2025-03-30 08:17:4342
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平台特性集成式3轴平台，正交性设计全局平面度、直线度达微米级X轴高刚度防蠕变交叉滚柱导轨无线缆扰动力设计Z轴垂向磁悬浮重力补偿，可实现定位精度高刚性、高精度导向设计垂向增量光栅，可实现5纳米分辨率超薄型、
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