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本设备工作原理为，空气通过高效过滤后，阻尼层均压，使洁净的空气气流垂直单向送入装片工作区，从而保证了工作区内达到工艺要求的洁净度，操作人员在洁净的环境中往石墨舟上装硅片。主要特点◇能准确的使石墨舟承载
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