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装片房石墨舟装片房产品说明本设备是用于太阳能行业与PECVD承载车配套，装去硅片，配制过滤器，空气通过过滤器后，阻尼层均压，使洁净的空气气流垂直单向送入装片工作区，从而保证了工作区达到工艺要求的洁净度
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