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1、经济性高KLC改变了洁净棚的传统设计观念，迷你洁净单元采取模组化整合设计概念，此架构类似SMIF形式，有各种独立的洁净区，区别在于其传送方式不是以连接臂进行，而是以人员在密闭的洁净室外进行操作，有独立的空
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