2018-11-07 14:27:01876
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1200高真空PECVD系统通过滑动炉体来实现快速的升降温，配置不同的真空系统来达到理想的真空度；同时通过多路高精度质量流量计控制不同气体。主要应用于高校、科研院所用于真空镀膜、纳米薄膜材料制备，生长薄膜石墨
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