2018-09-08 20:28:001114
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粒径小于0.5微米/立方米的细粉尘数量控制在3,500以下，达到无尘标准的*。目前在芯片级生产和加工中应用的无尘标准要求灰尘高于*，这种高标准主要用于某些更高级别的芯片生产。粉尘量严格控制在每立方米1000米以内，
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