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单晶硅炉冷却：单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备，其内部结构*为复杂。而单晶硅棒的生产对环境要求非常高，炉体温度过高，则会造成
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