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扩散泵机组特点扩散泵机组的主泵是一种高真空泵，其工作介质为扩散泵油，其抽气过程是被抽气体扩散到油蒸气射流中而被携带到泵出口在由罗茨泵和机械泵带走的过程，是一种抽速可以做得很高真空泵。
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