2021-10-06 17:06:59379
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上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司KRI射频离子源RFICP220,大面积高能量栅网离子源.离子束流:800mA;离子动能:100-1200V;中和器:LFN2000;流量(Typicalflow):10-40sccm;压力:0.5mTorr离子束可聚焦,平行,散射.
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