2024-12-26 09:43:52271
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技术参数名称内容测量范围Z轴（垂直）±80μm/±160µm（增强型）X轴（水平）20mm分辨率Z轴（垂直）0．01μm/±20μm0．02μm/±40μm0．04μm/±80μm0．08μm/±160μm测量项目参数Ra,Rz,Rq,Rt
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