2024-09-13 07:33:02211
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TURBOVACMAGW830/1300CW1500CTW2000C/CTW2200CW2800/3200(C/CT)典型应用-半导体工业，诸如蚀刻、CVD、PVD和离子注入之类的所有主要半导体工艺-进样室，转移室-粒子加速器-科研-镀膜系统技术特点-主动定位五轴磁悬浮
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