2020-03-31 11:34:34363
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- 产品型号:猎户座 3100S
- 厂商性质:经销商
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- 所在地区:北京市
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光刻工艺洁净室内痕量级NH3,HCL,HF等气体的超高灵敏度、实时测量实践证明深紫外光刻工艺深受多种类微量污染物的影响，对很多微量污染物极为敏感，比如氨气或者酸性气体都会给半导体生产带来*的危害，尽管随着深紫外
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