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多晶硅烘箱的工作室采用不锈钢板制作而成，具有耐腐蚀、耐高温，高洁净度。箱体外壳采用冷轧钢板，角钢，槽钢等各种材料制作，进风口加装耐高温高效空气过滤器，洁净度达10000级。外壳与工作室之间填充耐高温硅酸铝
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