深圳市蓝星宇电子科技有限公司

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2021-07-14 08:37:50233
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德国EulithaPhableR100高分辨紫外光刻系统,科研/生产兼用,是一套低成本的光学曝光系统,但却能获得高分辨率的周期性结构。同传统的紫外曝光机类似,涂覆了光刻胶的晶片以接近方式放置在掩膜版下面,被紫外光束照射

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