1KW射频自动匹配器

1KW自动匹配器

由国内外提供技术，国内生产的GMPOWER品牌射频自动匹配器，广泛适用于等离子刻蚀体、镀膜、清洗、等离子体增强、感应加热以及太阳能制造设备PECVD制造中，具有功率覆盖范围大（50W-5KW）、匹配时间短（≤3秒）、指示功能全、操作简单等优势，可通过数字接口实施计算机数据采集和控制，轻松实现时入射功率、反入射功率、直流偏压等的精确测量。该匹配器与电源*独立，可配置AE、COMDEL、MKS等多家品牌的射频电源，限度节约射频系统成本

产品描述

*功率：1KW/、2KW、5KW 频率：13.56MHz

*系统采用高速配算法，即使系统处于高Q值也可在接近匹配点时减速，达到精确匹配效果

*标准配置采用可调的L型匹配网络，满足绝大部分负载要求，也可根据客户负载阴抗设计配置匹配网络，实现自动匹配

*射频接口可选择同轴输出,铜带输出